DE-FDC
設備監(jiān)控系統(tǒng)
DE-FDC簡介
在制造過程中，設備效率和穩(wěn)定性及工藝的一致性是確保高產品質量和產量的重要因素。廣立微DataExp-FDC(簡稱DE-FDC)系統(tǒng)與設備及MES建立通訊，收集設備中傳感器的 Raw Trace數據，并從中提取有效表征因子，監(jiān)控整個生產過程中的設備運行，提供預警和實時調優(yōu)，保證生產工藝的穩(wěn)定性。同時FDC收集的大量設備數據和良率分析系統(tǒng) (YMS)結合，通過大數據機器學習可以幫助快速找到良率問題的根因，并反饋到產線及時修正。除此之外，與Inine量測建立的有效模型，使Fab可及時調整采樣策略，減少CycleTime和優(yōu)化測量設備使用，在保證監(jiān)控靈敏度的同時降低成本。
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