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在制造過程中，設(shè)備效率和穩(wěn)定性及工藝的一致性是確保高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量的重要因素。廣立微DataExp-FDC(簡(jiǎn)稱DE-FDC)系統(tǒng)與設(shè)備及MES建立通訊，收集設(shè)備中傳感器的 Raw Trace數(shù)據(jù)，并從中提取有效表征因子，監(jiān)控整個(gè)生產(chǎn)過程中的設(shè)備運(yùn)行，提供預(yù)警和實(shí)時(shí)調(diào)優(yōu)，保證生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性。同時(shí)FDC收集的大量設(shè)備數(shù)據(jù)和良率分析系統(tǒng) (YMS)結(jié)合，通過大數(shù)據(jù)機(jī)器學(xué)習(xí)可以幫助快速找到良率問題的根因，并反饋到產(chǎn)線及時(shí)修正。除此之外，與Inine量測(cè)建立的有效模型，使Fab可及時(shí)調(diào)整采樣策略，減少CycleTime和優(yōu)化測(cè)量設(shè)備使用，在保證監(jiān)控靈敏度的同時(shí)降低成本。