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晶圓級電性參數(shù)測試設(shè)備
為研發(fā)、量產(chǎn)和可靠性測試提供高效和精確的電性參數(shù)測試

晶圓級電性參數(shù)測試設(shè)備

在集成電路的產(chǎn)品開發(fā)、工藝制造和產(chǎn)品驗證過程中，對電性參數(shù)測試的需求日益提高， Semitronix 廣立微經(jīng)過十余年，自主研發(fā)高效電性參數(shù)測試設(shè)備和解決方案，已成功進入多家內(nèi)外領(lǐng)先的芯片設(shè)計類（Fabless）企業(yè)、代工制造類 (Foundry）企業(yè)、垂直整合制造類（IDM）企業(yè)和研發(fā)實驗室（R&D Lab），協(xié)助完成多種測試任務(wù),并且高效、精確地提取器件和工藝相關(guān)的電性參數(shù)，實現(xiàn)以數(shù)據(jù)驅(qū)動芯片產(chǎn)品的功耗-性能-面積-成本(PPAC) 優(yōu)化、可靠性以及成品率提升。
目前，Semitronix廣立微現(xiàn)有的測試應(yīng)用場景包括：高并行 R&D測試、高效WAT 量產(chǎn)測試，以及可靠性 WLR 測試，在未來將逐步增加測試設(shè)備種類，拓展到其他測試應(yīng)用場景。

技術(shù)優(yōu)勢

設(shè)備測試性能
● 電流：測試精度0.1pA以下，最小分辨率0.1fA，最大范圍1A
● 電壓：測試精度0.1mV以下，最小分辨率0.1 μV，最大范圍200V
● 電容：測試精度0.01pF，最大范圍100nF, 支持C-V掃描
● 高效的測試產(chǎn)能（Throughput）: 1.4X-5X
● 支持超并行測試能力，提高測試效率
測試軟件
● Algorithm Builder: 基于TCL語言的算法編輯
● Test Plan Editor: 根據(jù)測試需求,簡便地做出test plan
● Framework: 強大的測試結(jié)果預(yù)警和處理機制
● Low Yield Management System 良率管理系統(tǒng)（LYM）
● 支持可靠性Wafer Level Reliability (WLR) 測試，擴展測試機通用性
工廠自動化
● 支持與各類Prober(TEL/TSK/Sidea/Semishare…)集成
● 符合SEMI標準，實現(xiàn)EAP GEM 300標準自動化測試流程
● 支持E5 E30 E37 E39 E40 E87 E90 E94 E84 等協(xié)議
主要特點
  • 為客戶在程序控制過程中提供準確且高度自動化的測試解決方案
  • 提供兩種操作方式：在線測試、離線測試
  • 根據(jù)前期測試結(jié)果能夠讓工程師靈活地改變測試計劃的細節(jié)
  • 方便地控制晶圓探針臺并制定測試框架的執(zhí)行流程
  • 涵蓋所有WAT測量項目：MOSFETs (Id, Vt, Ioff…), BJT, diode (breakdown), resistors, capacitors, etc.
  • 自主研發(fā)高性能硬件配置方案和電路結(jié)構(gòu)設(shè)計，快速的并行測試技術(shù)平衡優(yōu)化了測試速度及精度，連續(xù)采樣率高達1.8M samples / 秒

基本配置

  • T4000系列

    通用型WAT測試設(shè)備
    使用于大部份WAT電性測試場景

  • T4100S系列

    并行測試設(shè)備
    大幅提升測試效率
    可滿足先進工藝中繁雜多樣的測試要求

  • T4100S系列-copy-1678252710

    并行測試設(shè)備
    大幅提升測試效率
    可滿足先進工藝中繁雜多樣的測試要求

Tester T4000系列 T4100S系列 T4100S系列-copy-1678252710
#of PINs 24 to 28 22to 28 22to 28
#of SMUs 6 to 12 (shared SMU) 22 to 48 (per pin) 22 to 48 (per pin)
#of LCR 1 1 to 2 1 to 2
#of PGU 2 2 2
Parallel testing support Yes Yes Yes
Throughput(WPH) ~1.3x-2x ~1.5x-5x ~1.5x-5x