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聯(lián)系我們
工藝開發(fā)測試設備
應用于技術研發(fā)階段,大幅提升測試效率和精度
簡介

半導體行業(yè)發(fā)展迅速,技術的不斷更新迭代,使得摩爾定律可以繼續(xù)延續(xù)。技術研發(fā)在半導體行業(yè)具有重要意義,通過不斷改進半導體材料、工藝和器件設計,可以提高芯片的性能,如速度、功耗、集成度等,從而推動整個電子產品的發(fā)展。

在技術研發(fā)階段,需要進行大量電性參數測試,以此來反應器件、工藝是否符合要求。廣立微測試設備測試效率高、精度高,適用于各類應用場景,包括SPICE模型測試、可尋址測試和可靠性測試等,為半導體行業(yè)的技術研發(fā)提供了可靠支持。

 

 

設備優(yōu)勢

測試效率高
可實現(xiàn)單條Module或多條module同時扎針的并行測試
測試精度高
電流精度為0.1pA,電流分辨率可選配到0.1fA
與Addressable設計協(xié)同
大幅度提升測試效率,快速定位到器件或工藝問題

基本配置

TD Tester T4000 (48/100 pin)*
Standard Resources HR_SMU+HS_SMU (18~36)
Pulse generator (2/4)
Signal analyzer (2)
Switch matrix
LCR Meter (1/2)
Number of measurement pins 48/100
Voltage Coverage ±200 V
Current Coverage ±1 A
Voltage measure sensitivity 100 nV
Current measure sensitivity  0.1fA
Voltage measure accuracy 100uV
Current measurement accuracy 0.1 pA
Maximum SMU sample rate 1.8M samples/sec
Capacitance measurement accuracy 10 fF
RO Frequency Coverage ~ 20MHZ
Measurement Functions DC Current / DC Voltage / Kelvin / Capacitance / Inductance
AC Current / AC Voltage / Differential Voltage / Frequency
Arbitrary Waveform / Clock Generation /
Synchronization (triggering mode) / C-V scan


Typical Supported Test Items
Addressable (Transistor Array/ Yield Array/Ring Oscillator
Array/CBCM/QVCM/DenseArray/HDYS
ID/VT/VTGM/IOFF/ISUB/BV/CAP//ICP
BETA/VBE/BVCEO/BVCBO/BVEBO
R2/RKLV/LK/CAP_METAL
IREAD/ISTANDBY/IDDQ/WM/SNM
ERASE/PROGRAM
  IDDA/IDDQ/FREQ
  IV/CV
Mean time between failures (MTBF) > 1000 hours
Mean time to repair (MTTR) < 6 hours
Uptime rate ~ 97%

 

# Can select based on user needs
* Both T4000 and T4100S can support WLR test if upgrading software
This table shows recommend testers at different application, if you have other requirements, please contact us.

測試軟件

使用界面友好
Algorithm使用 TCL/C++ 語言
支持導入/導出 excel/txt 格式的規(guī)范文件
提升測試速度
自動對初始化條件相同的測試項目進行分組
自動化
與Fab的 EAP 系統(tǒng)自動運行集成
可定制數據格式(.lot、.csv、.ad5 等)
其他強大功能
通過虛擬硬件環(huán)境在 PC 上進行驗證
調試模式使Algo調試更簡單、更高效
自動重新測試可能存在探測問題的失敗測試項目
直接導入Baseline Testplan
實時顯示
處理早期報警和低產量問題