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晶圓級WAT測試設(shè)備
晶圓級電學(xué)參數(shù)測試設(shè)備，為客戶提供準(zhǔn)確且高度自動化的測試解決方案，用于高效監(jiān)控工藝

簡介

在集成電路制造過程中，通過WAT測試(晶圓允收測試)提取工藝和器件性能的信息用于指導(dǎo)芯片產(chǎn)品的過程研發(fā)和生產(chǎn)控制。隨著制造工藝越來越復(fù)雜，WAT測試也變得越來越重要。

廣立微WAT測試機(jī)是一款功能強(qiáng)大的快速電學(xué)參數(shù)測試機(jī)，為客戶提供準(zhǔn)確且高度自動化的測試解決方案用于快速和更好地監(jiān)控工藝。測試機(jī)讓工程師在半導(dǎo)體晶圓制造工藝的測量中顯著地節(jié)省時間，特別在與廣立微的可尋址測試芯片解決方案結(jié)合使用后，其測試效率更高。廣立微WAT測試機(jī)已經(jīng)應(yīng)用于多家領(lǐng)先的晶圓廠的量產(chǎn)產(chǎn)線和研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。

  • 產(chǎn)線充分驗(yàn)證：覆蓋20+量產(chǎn)線，量產(chǎn)跑貨超200萬片
  • 涵蓋主流工藝：MCU / BCD / PMIC / Flash / CIS / Logic / MEM / III-V
  • 運(yùn)行穩(wěn)定：Uptime>97%
  • 市占率高：成為多個頭部12寸廠baseline機(jī)臺

設(shè)備優(yōu)勢

涵蓋所有WAT測量項(xiàng)目
涵蓋所有WAT和WLR測量項(xiàng)目
測試效率高
WAT速度提升1.4-5X;
Addressable速度提升3X-10X以上；
DenseArray速度提升1000X以上
自動化測試
支持EAP系統(tǒng)，兼容行業(yè)內(nèi)各品牌常見型號的探針臺，支持online/offline測試兩種模式
支持可選配置
可根據(jù)客戶需求，自由選擇測試pin數(shù)和配置測試單元數(shù)

軟硬件協(xié)同，高效測試，帶來更高的Throughput

硬件：
測試系統(tǒng)基于PXIe構(gòu)架，響應(yīng)時間極快
SMU連續(xù)采樣率可達(dá)到1.8M samples/秒
Relay開關(guān)切換時間 <2ms
測試系統(tǒng)性能優(yōu)異，settling time短?
并行測試：
開關(guān)切換/施加信號/信號量測都可實(shí)現(xiàn)并行
軟件：
內(nèi)置豐富算法庫
軟件可靈活定制?
支持?EAP GEM 300 標(biāo)準(zhǔn)的自動化測試流程
支持Windows、Linux系統(tǒng)，提供Tcl、C++多種算法編寫語言方案

基本配置

WAT Tester T4000 (24/48 pin)* T4100S (25/48 pin)*
Standard Resources HR_SMU+HS_SMU (4~18) Group SMU (25/48)
Pulse generator (2) Pulse generator (2)
Signal analyzer (2) Signal analyzer (2)
Switch matrix HSPU (hybrid signal processing unit)
LCR Meter (1) LCR Meter (1)
Number of measurement pins 24/48 25/48
Voltage Coverage ±200 V ±200 V
Current Coverage ±1 A ±1 A
Voltage measure sensitivity 100 nV 100 nV
Current measure sensitivity 10 fA or 0.1fA# 10 fA or 0.1fA#
Voltage measure accuracy 100uV 100uV
Current measurement accuracy sub-pA sub-pA
Maximum SMU sample rate 1.8M samples/sec 1.8M samples/sec
Capacitance measurement accuracy 10 fF 10 fF
RO Frequency Coverage ~ 20MHZ ~ 20MHZ
Measurement Functions DC Current / DC Voltage / Kelvin / Capacitance / Inductance
AC Current / AC Voltage / Differential Voltage / Frequency
Arbitrary Waveform / Clock Generation /
Synchronization (triggering mode)# / C-V scan
Typical Supported Test Items ID/VT/VTGM/IOFF/ISUB/BV/CAP/ICP
BETA/VBE/BVCEO/BVCBO/BVEBO
R2/RKLV/LK/CAP_METAL
IREAD/ISTANDBY/IDDQ/WM/SNM
ERASE/PROGRAM
IDDA/IDDQ/FREQ
IV/CV
Mean time between failures (MTBF) > 1000 hours > 1000 hours
Mean time to repair (MTTR) < 6 hours < 6 hours
Uptime rate ~ 97% ~ 97%

 

# Can select based on user needs
* Both T4000 and T4100S can support WLR test if upgrading software
This table shows recommend testers at different application, if you have other requirements, please contact us.

測試軟件

測試設(shè)備內(nèi)置測試軟件，界面友好且功能靈活，包括Algorithm builder, Testplan Builder and FrameWork，可在定制的 Windows 系統(tǒng)或 Linux 系統(tǒng)下運(yùn)行。
使用界面友好
Algorithm使用 TCL/C++ 語言
支持導(dǎo)入/導(dǎo)出 excel/txt 格式的規(guī)范文件
測試項(xiàng)自動分組
自動對初始化條件相同的測試項(xiàng)目進(jìn)行分組以提升測試速度
自動化
與Fab的 EAP 系統(tǒng)自動運(yùn)行集成
可定制數(shù)據(jù)格式（.lot、.csv、.ad5 等）
其他強(qiáng)大功能
通過虛擬硬件環(huán)境在 PC 上進(jìn)行驗(yàn)證
調(diào)試模式使Algo調(diào)試更簡單、更高效
直接導(dǎo)入Baseline Testplan
實(shí)時顯示
處理早期報(bào)警和低產(chǎn)量問題
自動重新測試可能存在探測問題的失敗測試項(xiàng)目