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晶圓級(jí)WLR測(cè)試設(shè)備
晶圓級(jí)可靠性(WLR)測(cè)試設(shè)備，快速準(zhǔn)確評(píng)估元器件是否能保持其電性規(guī)格高一致性的能力
簡(jiǎn)介

WLR（Wafer Level Reliability Testing，晶圓級(jí)可靠性測(cè)試）是一種專(zhuān)門(mén)用于評(píng)估半導(dǎo)體器件在晶圓階段可靠性的測(cè)試方法。這種測(cè)試方法在晶圓級(jí)直接對(duì)芯片進(jìn)行可靠性測(cè)試，以確保器件滿(mǎn)足高質(zhì)量和長(zhǎng)壽命的要求。WLR測(cè)試包括一系列嚴(yán)格的應(yīng)力測(cè)試，如熱載流子注入測(cè)試（HCI）、偏置溫度不穩(wěn)定壽命測(cè)試（BTI）電遷移（EM）、依時(shí)介電擊穿壽命測(cè)試（VTDDB）、升壓介電擊穿電壓測(cè)試（VRAMP）等。這些測(cè)試模擬了器件在各種極端條件下的工作環(huán)境，幫助工程師識(shí)別并改進(jìn)工藝中的薄弱環(huán)節(jié)，提高產(chǎn)品的整體可靠性。

WLR測(cè)試廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中，尤其在高性能和高可靠性要求的領(lǐng)域，如汽車(chē)電子、通信設(shè)備、消費(fèi)電子和工業(yè)控制等。通過(guò)嚴(yán)格的晶圓級(jí)可靠性測(cè)試，制造商能夠保證其產(chǎn)品在實(shí)際應(yīng)用中的穩(wěn)定性和耐久性，從而滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)高質(zhì)量電子產(chǎn)品的需求。

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

設(shè)備性能強(qiáng)大
最高施加電壓/電流可至200V/1A
最高功率可至20W
電流量測(cè)精度為sub-pA
電壓量測(cè)精度為100uV
測(cè)試數(shù)據(jù)與市面主流Benchmark機(jī)臺(tái)相匹配
高自動(dòng)化
Tester可自動(dòng)控制prober溫度，無(wú)需人為干預(yù)，可進(jìn)行全自動(dòng)的高低溫測(cè)試
高兼容性
支持與各類(lèi)prober集成，實(shí)現(xiàn)了 EAP GEM 300 標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化測(cè)試流程
對(duì)于廣立微的WAT機(jī)臺(tái)，可升級(jí)測(cè)試軟件支持WLR測(cè)試，不需進(jìn)行硬件升級(jí)

基本配置

WLR Tester T4000 (24/48/100 pin)
Standard Resources HR_SMU+HS_SMU (4~36)
Pulse generator (2/4)#
Signal analyzer (2)#
Switch matrix
LCR Meter (1/2)#
Number of measurement pins 24/48/100
Voltage Coverage ±200 V
Current Coverage ±1 A
Voltage measure sensitivity 100 nV
Current measure sensitivity 10 fA or 0.1fA#
Voltage measure accuracy 100uV
Current measurement accuracy sub-pA
Maximum SMU sample rate 1.8M samples/sec
Capacitance measurement accuracy 10 fF#
RO Frequency Coverage ~ 20MHZ#
Measurement Functions DC Current / DC Voltage / Kelvin / Capacitance / Inductance
AC Current / AC Voltage / Differential Voltage / Frequency
Arbitrary Waveform / Clock Generation #/
Synchronization (triggering mode)# / C-V scan#
Typical Supported Test Items VRAMP/JRAMP
VTDDB/JTDDB
HCI
BTI/BTI_OTF
FASTRES/KELRES/ISO_EMR/TCR/TVP/CONSTANT_I
Mean time between failures (MTBF) > 1000 hours
Mean time to repair (MTTR) < 6 hours
Uptime rate ~ 97%

 

# Can select based on user needs
* Both T4000 and T4100S can support WLR test if upgrading software
This table shows recommend testers at different application, if you have other requirements, please contact us.

測(cè)試軟件

RE Testbuilder
快速智能生成RE testplan
實(shí)際應(yīng)用中顯著提高testplan編輯效率
自動(dòng)控制溫度
通過(guò) Algo 進(jìn)行溫度控制，無(wú)需在Prober上進(jìn)行手動(dòng)操作
實(shí)時(shí)顯示測(cè)試數(shù)據(jù)圖像
在測(cè)試過(guò)程中顯示曲線，如 HCI Id 退化、VRAMP Ig Vs Stresstime...
用戶(hù)可直接觀察數(shù)據(jù)變化趨勢(shì)
智能并行測(cè)試
自動(dòng)分配測(cè)量資源
支持同步和異步智能并行測(cè)試